1.如果真空規(guī)管沒有損壞，返油一般是不需要修理的，主要清洗真空室內(nèi)擴(kuò)散泵的油。使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。要清干凈是關(guān)鍵的，如果室內(nèi)還有油的存在，就會(huì)出現(xiàn)鍍白膜，膜層質(zhì)量很不好，等現(xiàn)象，并不是因?yàn)殡婂冊(cè)O(shè)備的損壞，而是因?yàn)檎婵帐矣杏汀?/p>

　　2.如果是真空電鍍?cè)O(shè)備的擴(kuò)散泵經(jīng)常返油可能是以下問題：

　　1.冷卻水路不通暢或水壓不夠，導(dǎo)致冷卻能力下降，擴(kuò)散泵上半部分變熱，油蒸汽不能良好液化。解決辦法將擴(kuò)散泵進(jìn)水管接以4mpa的氣源，吹出水垢，接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結(jié)的很多并且牢固，可通入稀鹽酸。或者更換擴(kuò)散泵。

　　2.加熱溫度過高，由于擴(kuò)散泵加熱器功率與額定功率不符，過高，造成蒸汽量大，可造成返油，更換電爐絲可解決。

　　3.加油量過高，加油量高容易導(dǎo)致蒸汽量循環(huán)緩慢，向下級(jí)壓縮時(shí)滯留，造成返油，根據(jù)廠家提供信息進(jìn)行加油量的控制可避免。

　　4.油氧化，擴(kuò)散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影響，達(dá)不到噴射速度，自然就返到真空室內(nèi)。可講擴(kuò)散泵拆下，將泵心取出，用120#汽油進(jìn)行清洗，然后打磨，將結(jié)碳和黑色氧化層打磨掉，再次用120#汽油清洗、晾干，然后安裝，倒入擴(kuò)散泵油或硅油，加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染工件。