磁控濺射技術(shù)是最常用的一種物理氣相沉積技術(shù)。磁控濺射鍍膜機(jī)可用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多種薄膜材料，具有設(shè)備成熟、易于控制、鍍膜面積大、附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛使用。

　　磁控濺射鍍膜機(jī)技術(shù)規(guī)格特點(diǎn)：

　　- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶(hù)選擇，不同尺寸的箱式腔室可選;

　　- 泵：分子泵，冷凝泵可選;

　　- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底;

　　- 與手套箱兼容;

　　- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制，使用GUI進(jìn)行工藝控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持;

　　- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制;

　　- 襯底固定：?jiǎn)我r底固定，多襯底固定，行星式襯底固定，客戶(hù)化襯底固定方式;

　　- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等;

　　- 離子源：襯底預(yù)先清洗輔助沉積，納米尺度表面修飾;

　　- 磁控濺射沉積技術(shù)：射頻(RF)，直流(DC)，脈沖直流(Pulsed-DC);

　　- 靜態(tài)濺射，共濺射，反應(yīng)濺射，在線濺射;